在TFT LCD工業(yè)液晶屏的生產(chǎn)過程中,需要將其保持在清潔無塵的環(huán)境中。潔凈室不是簡單的定義為一個干凈的空間。事實上,它有一個來自國際標(biāo)準(zhǔn)化組織(ISO)的特殊定義。這是一個控制空氣中顆粒物濃度的房間。其建造和使用的目的是最大限度地減少室內(nèi)空氣中顆粒物的引入、產(chǎn)生和滯留,并根據(jù)需要控制其他相關(guān)參數(shù),如壓力、溫度和濕度。
潔凈室是液晶顯示行業(yè)液晶屏生產(chǎn)過程中的重要設(shè)施,對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度要求很高。小污染物必須控制在相對較細的水平,特別是1微米或更小的顆粒,這可能導(dǎo)致功能損失或可能降低產(chǎn)品的保質(zhì)期。此外,潔凈室保持加工區(qū)的衛(wèi)生條件,消除空氣中的灰塵、顆粒和微生物。反過來,這也提高了產(chǎn)品質(zhì)量,確保了高效生產(chǎn)。
一、潔凈室分類
清潔度等級是根據(jù)每單位體積允許的最大顆粒數(shù)量來定義的。ISO 1級潔凈室潔凈度最高,ISO 9級潔凈室潔凈度最低。更明確地說,在典型的城市環(huán)境中,室外環(huán)境空氣每立方米可能含有多達35,000,000個顆粒,直徑為0.5微米及以上,相當(dāng)于ISO 9潔凈室。然而,ISO 1潔凈室每立方米只允許12個直徑為0.3微米或更小的顆粒。
二、潔凈室要求
柔性潔凈室中有效的空氣過濾系統(tǒng)是保持生產(chǎn)部門有效運行的關(guān)鍵。為了達到要求的標(biāo)準(zhǔn),預(yù)過濾器用于去除人眼實際能看到的污垢和灰塵,而HEPA過濾器用于捕獲看不見的微小顆粒。為了防止污染物首先進入房間,通過將空氣引入天花板并通過由風(fēng)扇驅(qū)動的HEPA過濾器來創(chuàng)建加壓環(huán)境。這會產(chǎn)生比室外更大的空氣壓力,進而通過墻壁下部的通風(fēng)口將污染物排出潔凈室。為了讓你知道潔凈室空氣凈化意味著什么,想象一下,整個空氣每分鐘更換和凈化的頻率超過一次。
三、空氣要求
液晶屏生產(chǎn)使用特殊的照明設(shè)備、墻壁、設(shè)備和其他材料,以較大限度地減少空氣中顆粒的產(chǎn)生。同時,嚴(yán)格控制溫度和濕度。嚴(yán)禁使用非靜電放電保護。所以,潔凈室里的一切都是ESD。所有東西和地板都需要用特殊的防靜電設(shè)備清潔。生產(chǎn)后應(yīng)直接進行清洗,生產(chǎn)前30分鐘使用CR專業(yè)清洗工具。
如不是無塵的,那么液晶屏制造完成之后,在通電使用時極易發(fā)現(xiàn)模糊,暗點的情況。